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上海交通大学杨卓青教授在我院学术交流
发布者: 发布时间:2021-06-10 浏览次数:


2021年6月7日,微纳与系统研究中心每周例行学术讲座在信息与计算机学院南楼517室举行。上海交通大学教授杨卓青应邀进行了题为《非硅MEMS三维集成制造典型器件及应用》的学术讲座。

讲座中,杨卓青教授详细介绍了一种基于非硅表面微加工技术的金属基MEMS惯性开关器件,包括其具体的研发历程和实际应用情况。随后,介绍了一种可实现超细圆管/圆柱/毛细管等表面3D微加工的集成制造新技术,该技术基于紫外投影光刻,并利用研制的多自由度旋转曝光设备,可实现在百微米以下的超细柔性或刚性圆柱基表面上MEMS器件的三维集成制造,该方法将为各类超细介入/植入式柔性生物医用MEMS器件的集成制造开辟一种全新的技术途径。最后,杨卓青教授对其课题组其他相关工作进行了简要介绍。他深入浅出的讲解,使在场师生受益匪浅,现场掌声不断。

报告人简介:

杨卓青,教授、博士生导师,上海交通大学“微米/纳米加工技术国家级重点实验室”研究员。于2003年和2005年在哈尔滨工程大学机电工程学院获得学士与硕士学位,2010年获得上海交通大学微电子学与固体电子学博士学位,2011-2013年期间,在日本国立产业技术综合研究所(AIST)任JSPS博士后特别研究员。目前任职于上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,长期致力于MEMS惯性开关、柔性纤维/圆管/毛细管等表面的三维MEMS集成制造、PowerMEMS等相关研究,拥有20多项中国发明专利和1项日本专利,在IEEE JMEMS、IEEE TED、Adv Energy Mater、Nano Energy、Lab Chip等国际期刊上发表论文100多篇,并受邀担任多个国际学术会议的TPC成员和分会主席,目前为Micro and Nanosystems、Nanomanufacturing、《功能材料与器件学报》等多个学术期刊编委。此外,曾获得2016年“上海市技术发明一等奖”和2019年“工信部国防科技进步三等奖”,并于2014年入选“上海市浦江人才计划”,目前为中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事、中国微米纳米技术学会高级会员、中科院深圳先进技术研究院客座研究员,以及IEEE高级会员。